零点小说网

第414章 换个思路（第1页）

江州，江钢集团，老厂区，墨子光刻胶验证线。这是一间由老旧厂房改造的千级洁净室。空气中弥漫着光刻胶特有的刺鼻溶剂味。这里没有鲜花，没有掌声，只有刺耳的警报声。“滴——！滴——！滴——！”那台林远费尽心思，从江钢仓库里扒出来的，已有二十年历史的二手尼康nsr-s204b光刻机，突然停止了运转。红色的警报灯疯狂闪烁，将实验室里每一个人的脸庞都映得惨红。“怎么回事？”负责现场工艺的张明冲到控制台前。操作员脸色煞白，指着屏幕上的一行错误代码，手指都在颤抖。“errorde2204:lensntaationdetectedtensityloss＞15”错误代码2204：检测到镜头污染。光强损失超过15。张明只觉得脑子里嗡的一声。镜头污染。这是光刻工艺中，最严重的事故之一。如果是硅片报废，也就是损失几百美金。但如果是光刻机的投影物镜被污染，那意味着这台价值几千万的设备，可能要大修，甚至报废。“停机！马上停机！”张明嘶吼道，“把晶圆退出来！快！”一小时后，分析实验室。那片肇事的晶圆，被放在了原子力显微镜下。林远、王海冰、以及墨子材料的创始人赵博士，围在屏幕前。屏幕上，原本应该平整光滑的光刻胶表面，此刻却像月球表面一样，布满了坑坑洼洼的斑点和不明颗粒。更可怕的是，在显影后的沟槽里，残留着一层白色的胶状物质。这就是导致镜头污染的罪魁祸首，光刻胶在曝光过程中，发生了非预期的化学反应，产生了不可溶的沉淀物，并挥发到了镜头上。“赵博士，”林远的声音很轻，却冷得像冰，“这是怎么回事？”“我们的配方是没问题的……”赵博士满头大汗，拿着一叠厚厚的实验数据，“在实验室的小样测试里，良率明明达到了90……”“我要的不是实验室的数据！”林远猛地打断了他，“我要的是，为什么上了产线，就变成了毒药？”王海冰拿着一份刚刚出来的光谱分析报告，递给了林远。“林董，原因找到了。”“不是配方的问题。”“是杂质。”王海冰指着报告上那几个刺眼的峰值。“我们在光刻胶里，检测到了钠和铁离子。”“浓度：50ppb十亿分之五十。”“50ppb？”林远皱眉，“这很高吗？”“对于食品工业，这比纯净水还干净。”王海冰苦笑，“但对于半导体光刻胶，这是剧毒。”“光刻胶对金属离子的管控要求，是ppt（万亿分之一）级别。也就是个位数ppt。”“50ppb，相当于标准值的一千倍！”“这些金属离子，在深紫外光的照射下，充当了催化剂，改变了光引发剂的化学反应路径，导致光刻胶交联过度，变成了洗不掉的石头。”“而且，”王海冰的声音越来越低，“钠离子是移动电荷，它会穿透栅极氧化层，直接杀死下方的晶体管。这批晶圆，就算光刻出来了，电学性能也是废的。”全军覆没。三个月的努力，十个亿的投入，换来了一堆废片和一台被污染的光刻机。“杂质是从哪儿来的？”林远问。“我们排查了所有的原料。”赵博士擦着汗，“树脂、溶剂、pag，都是按照最高标准采购的。甚至，我们的丙二醇甲醚醋酸酯溶剂，用的都是进口的电子级。”“那就是容器。”汉斯走了进来，手里拿着一个不起眼的不锈钢桶。“这是你们用来储存光刻胶的容器。”汉斯指着桶壁，“国产的316l不锈钢。”“有什么问题吗？”“有大问题。”汉斯叹了口气，“德国默克或者日本jsr用的容器，虽然也是不锈钢，但内壁经过了特殊的电解抛光和钝化处理，表面粗糙度低于01微米，并且镀了一层特氟龙涂层。”“而你们用的这个……”汉斯用戴着白手套的手指，在桶内壁摸了一下，指尖上有一抹淡淡的黑痕。“内壁有微小的划痕和锈蚀。光刻胶是强溶剂，它把桶壁上的铁离子‘洗’下来了。”“还有管道、阀门、过滤芯……”汉斯摇了摇头。“林，你把问题想简单了。”“光刻胶不是调鸡尾酒。配方只是1，剩下99是提纯和品控。”“你们中国有最好的化学家，能设计出最先进的分子结构。但是，你们缺乏制造最干净的桶、最细的滤网、最纯的溶剂的基础工业体系。”“日本的信越化学，为了控制金属离子，他们甚至自己生产包装瓶！他们的工厂管道，每一根都是定制的！”，！“这是一个系统工程。你不可能在沙滩上建高楼。”汉斯的话，像一盆冷水，浇灭了林远心中弯道超车的火焰。他意识到，自己撞上了一堵墙。一堵名为基础工业底蕴的叹息之墙。这东西，没办法靠写代码解决，也没办法靠砸钱瞬间买来。它需要时间。需要十年、二十年的工艺积累。而林远现在最缺的，就是时间。就在内部研发陷入泥潭的同时，林远发动的资源战，也开始显现出副作用。江州，江南之芯集团，战略部。“林董，情况不对。”刘华美拿着一份最新的市场简报，脸色难看。“我们限制了镓和锗的出口，确实让国际市场价格暴涨了50。但是，东和财团并没有我们想象中那么慌张。”“为什么？”“因为战略储备。”刘华美调出一张数据图。“日本经济产业省，早在十年前就建立了稀有金属国家储备制度。根据情报，信越化学和jsr的仓库里，囤积的镓和锗，足够他们全负荷生产18个月！”“18个月……”林远喃喃自语。这意味着，他的断粮策略，在一年半内伤不到对方的分毫。但对方的反击，却是立竿见影的。“昨天，日本政府宣布，将光刻胶配套试剂列入出口管制清单。”刘华美继续汇报。“配套试剂？”“对。不是光刻胶本身，而是显影液、剥离液、清洗液和抗反射涂层。”“这些东西看起来不起眼，技术含量似乎也不如光刻胶高。但是，它们必须与特定的光刻胶配对使用。”“如果我们用日本的光刻胶存货，就必须用日本的显影液。否则，酸碱度不匹配，图形就会显影不全，或者侧壁粗糙度超标。”“现在，他们断了显影液。”“国内的晶圆厂中芯、华虹，虽然还有光刻胶的库存，但显影液的库存只够两周！”“两周后，如果这也是断供，全中国的先进产线都要停摆。”“而且，”刘华美顿了顿，“国内的晶圆厂老板们已经疯了。他们不敢骂日本人，只能骂你。”“他们说，是你挑起了这场贸易战，却没能提供替代方案。是你把他们架在火上烤。”这就是现实。当你的拳头不够硬的时候，你的每一次反击，都可能变成射向自己的回旋镖。林远的资源牌，打出去了。但因为产业链的不对等，对方只受了皮外伤，而己方却面临大动脉出血。接下来的几天，坏消息接踵而至。墨子材料内部，因为第一次验证的惨败，团队士气低落。几位核心的海归博士，开始质疑赵博士的技术路线。有人提出离职，甚至有传言说，他们准备接受外企如陶氏杜邦的高薪挖角。“我们是在做不可能的事。基础配套太差了，巧妇难为无米之炊。”一位工程师在内网发帖抱怨。启明联盟内部，原本紧密团结的盟友，开始出现了裂痕。李俊峰打来电话：“林老弟，d的生产线快断顿了。能不能先通过你的海外渠道，搞一批日本的显影液进来？哪怕加价十倍也行啊！”汪韬虽然没说话，但他那边的光子芯片进度也停滞了。因为光子芯片的加工，同样需要高精度的光刻工艺。没有光刻胶，光子芯片就是空谈。林远坐在办公室里，看着窗外的夜色。办公桌上，放着那块布满斑点的废弃晶圆。他第一次感觉到了深深的无力感。他可以用“算力”去置换“算法”，可以用市场去换取标准。但他无法用钱去买来时间，无法用谋略去跨越物理规律。化学反应就是化学反应。纯度不够，就是不行。这是科学的尊严，不容亵渎。“老板，”顾盼轻手轻脚地走进来，放下一杯咖啡，“要不要……先暂停一下？”“暂停什么？”林远抬起头，双眼通红。“暂停资源战。”顾盼小心翼翼地建议，“我们可以通过第三方，比如保罗·辛格，向日本方面释放善意。恢复镓锗出口，换取他们恢复显影液供应。先活下来，再图发展。”这确实是最理性的选择。也是所有商业教材都会教的选择止损。只要林远低头，危机立刻就能解除。晶圆厂能复工，盟友会满意，大家都能松一口气。除了那个虽然微弱，但已经点燃的国产化火苗，会彻底熄灭。如果现在退缩，墨子材料就会彻底垮掉。国内刚建立起来的信心会崩塌。以后再想搞材料国产化，没人会信了。这是一次信仰的崩塌。林远看着那块废晶圆，沉默了良久。“不。”他声音沙哑，却坚定。“不能退。”“退一步，就是万丈深渊。”“我们现在的问题，不是方向错了。而是我们太急了。我们想用百米冲刺的速度，去跑一场马拉松。”小主，这个章节后面还有哦，，后面更精彩！他站起身，走到白板前，擦掉了之前所有的宏大战略图。只写下了两个字。提纯。“顾盼，通知下去。”“第一，‘资源战’继续。告诉商务部，不仅不松口，还要加码！把稀土永磁材料也列入管制预备名单！我要让日本人的‘战略储备’变成‘心理恐慌’！我看他们能撑18个月，能不能撑住股市的崩盘！”“第二，墨子材料那边，停止所有的新配方研发。所有工程师，全部下车间！”“去干什么？”顾盼问。“洗桶。”林远指着那个晶圆。“既然问题出在杂质上，那我们就从源头抓起。”“去买最好的电解抛光设备，自己加工储罐！”“去买最好的过滤膜，自己做纯化！”“哪怕是用蒸馏水洗上一百遍，也要把那个该死的钠离子给我洗掉！”“第三，”林远眼中闪过一丝狠厉。“去联系江钢化工部。”“光刻胶的树脂，是石油化工产品。但最早的树脂，是从煤焦油里提炼的煤化工。”“日本人的石油化工路线我们走不通，那我们就走煤化工！”“江钢有全国最大的焦化厂，有最全的煤化工产业链。”“我要在江钢，建一座电子级化学品精炼厂！不买日本人的原材料了。我们自己炼！”“这是一条没有人走过的路。也许很难，也许很慢。”“但只有这条路，是真正属于我们自己的。”林远的决定，是一场豪赌。他赌的是中国庞大的工业门类齐全优势，能弥补精细化工的短板。但他不知道的是，就在他决定死磕的时候。在东京。萧若冰正坐在茶室里，看着一份新的情报。“他想搞煤化工？”萧若冰嘴角露出一丝冷笑。“天真。”“他以为光刻胶只是化学问题吗？”“不，那是光学问题。”“通知佳能和尼康。”萧若冰淡淡地下令，“停止向中国出售和维护所有的缺陷检测设备。”“做出了光刻胶又怎么样？”“如果没有检测设备，他们就是瞎子。”“我要让他做出来的每一桶胶，都不敢上机。”林远以为只要解决了纯度就能赢。但他即将发现，没有了检测工具，所谓的良率提升，根本无从谈起。这是一场，从材料蔓延到设备，再蔓延到工具链的，全方位绞杀。而林远，手里只剩下一张牌江钢。那个傻大黑粗的钢铁巨人，能承载起纳米级的精密梦想吗？：（）官道红颜：她们助我一路升迁