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第413章 计算之光（第1页）

荷兰，维尔德霍芬。这里是全球半导体设备霸主asl的总部所在地。这座看似普通的欧洲小镇，掌握着人类精密制造的最高机密。林远和王海冰一行人，在细雨中抵达了asl的研发中心。迎接他们的，是asl的全球总裁温彼得，以及公司的技术灵魂、首席技术官马丁·范登布林克。会议室没有任何多余的装饰，只有一块巨大的白板和一台投影仪。“林先生，”温彼得开门见山，表情严肃，“在开始之前，我必须重申：受限于《瓦森纳协定》和美国商务部的最新出口管制规则，我们无法向中国出售、租赁或转让任何涉及euv技术的设备、零部件及图纸。”“哪怕一颗螺丝钉也不行。”“我知道。”林远平静地坐下，“我也没打算买euv。”“那您来做什么？”马丁疑惑道，“现在的先进制程在7n以下，没有euv几乎是不可能的。单纯靠duv深紫外的多重曝光，良率会低到让你破产。”“物理上是不可能。”林远指了指自己的太阳穴，“但数学上，是可能的。”“我来，是想和你们谈谈计算光刻。”林远示意王海冰打开电脑，将一份名为《基于ai加速的逆向光刻技术（ilt）解决方案》的ppt投射在屏幕上。“马丁先生，您是光刻专家。您应该知道，光刻机的本质，是一个光学成像系统。”“当光线穿过掩膜版投射到硅片上时，由于光的衍射特性，图形会发生畸变。直角变圆角，线条变粗细。”“为了修正这种畸变，我们传统上使用opc光学邻近效应修正技术。通过在掩膜版上增加一些‘亚分辨率辅助图形来补偿。”“但是，”林远话锋一转，“随着制程进入7n，传统的opc已经失效了。掩膜版的图形复杂度呈指数级上升，计算量大到无法想象。”“现在，唯一的解决方案是逆向光刻技术。”“不再是修正图形，而是根据目标图形，反向计算出完美的掩膜版形状。”马丁点了点头，神色凝重：“理论上是这样。但ilt的计算量是opc的100倍。处理一颗满光罩的芯片，需要数万个cpu核跑上几个月。这在工程上是不可接受的。”“如果……”林远看着马丁，“我能把计算时间，缩短到10小时呢？”“不可能！”马丁脱口而出。“没有什么不可能。”林远切换了一张架构图。“1算力暴力破解：我们拥有启明云和青川智算中心。我们不缺cpu，也不缺gpu。我们可以调用10万张ai加速卡，进行大规模并行计算。”“2ai模型加速：汪韬的团队训练了一个专门的光刻成像神经网络。它不需要像传统算法那样去解繁琐的麦克斯韦方程组。它只需要看一眼电路图，就能预测出光的衍射行为。”“我们将物理建模与深度学习结合，速度提升了500倍。”“3端到端协同：我们的昆吾eda软件，可以直接输出适合ilt计算的数据格式，无需中间转换。”林远抛出了他的筹码：“温彼得先生，马丁先生。”“asl现在面临的问题是：euv产能不足，且极其昂贵；duv虽然成熟，但面临技术天花板。”“如果你们愿意合作，我们将向asl开放这套ai光刻加速引擎。”“你们提供光源模型数据和透镜像差数据，我们提供算力和算法。”“我们联手，用软件压榨出duv光刻机的物理极限。让193n波长的duv，在不使用euv的情况下，稳定生产出7n，甚至5n的芯片！”温彼得和马丁对视了一眼。他们看懂了林远的意图。这是一笔技术置换。中国出算力，荷兰出光学硬件。如果成功，asl将能通过软件升级，让存量的数千台duv光刻机焕发第二春，这是一个价值数百亿美金的服务市场。而且，这不涉及实体设备的出口，处于制裁的灰色地带。“我们需要验证。”马丁谨慎地说道，“口说无凭。”“没问题。”林远拿出一个加密硬盘，“这里面是我们用ai生成的，针对aslnxt:2000i机型的测试掩膜版数据。你们可以去实验室跑一下。”asl光刻实验室。这里是全球最洁净的地方，空气洁净度达到icss1标准。工程师将林远提供的数据导入光刻机的控制系统。激光源启动，波长193n的深紫外光，穿过复杂得如同外星迷宫般的掩膜版，投射到涂满光刻胶的晶圆上。显影，定影，电子显微镜扫描。当图像出现在屏幕上时，马丁倒吸了一口凉气。屏幕上，是一排排整齐的鳍式场效应晶体管结构。，！线条边缘锐利，关键尺寸（cd）均一性极佳。“线宽……38纳米单次曝光极限。”马丁喃喃自语，“这已经逼近了瑞利判据的物理极限。”“如果配合saqp自对准四重曝光技术，”旁边的asl首席科学家补充道，“理论上，我们可以把这就距缩小到10纳米以下。也就是7n制程。”“但这需要极高的套刻精度。”“他们的算法里包含了非线性套刻补偿模型。”马丁指着数据日志，“你看，他们在计算掩膜版时，已经预判了晶圆在多次曝光过程中的热膨胀和机械形变，并提前做了反向补偿。”“这是上帝视角。”马丁转过身，看着站在玻璃窗外的林远，眼中没有了最初的怀疑，只剩下纯粹的技术敬畏。他知道，asl引以为傲的光学壁垒，被中国人的算力暴力给凿穿了。回到会议室，谈判进入了实质性阶段。这一次，温彼得的态度发生了180度转弯。“林先生，测试结果令人印象深刻。我们原则上同意成立联合实验室。”“但是，关于合作模式……”“双向授权。”林远直接给出了方案。“1联合研发实体：在新加坡成立启明-asl计算光刻联合实验室。该实验室为独立法人，不受美国法律管辖。”“2数据不出境：asl的光源核心数据，只能在新加坡的离线服务器上使用，不得传输回中国大陆。同样，我们的ai模型核心代码，也只在实验室内运行。”“3商业分成：开发出的女娲光刻软件，asl拥有海外独家销售权，启明联盟拥有中国区独家使用权。销售利润五五分成。”“4硬件支持：”林远盯着温彼得，“这是最关键的。我需要asl承诺，优先保障启明联盟成员企业如中芯、华虹的duv光刻机零部件供应和维护服务。并且，在合规范围内，向我们出售最高配置的浸没式duv光刻机（nxt:2050i）。”温彼得沉思了片刻。这是一笔划算的买卖。asl不需要付出任何核心硬件技术，仅仅是开放了一些软件接口和光学参数，就能获得一套世界领先的ai光刻系统，还能稳住中国这个最大的客户。“成交。”温彼得伸出手。“不过，林先生，我要提醒你。”温彼得压低了声音，“就算有了这套软件，有了duv。要做7n，你们还缺一样东西。”“什么？”“光刻胶。”“做多重曝光，对光刻胶的稳定性要求极高。目前，全球能生产arf浸没式光刻胶的企业，只有日本的jsr、东京应化和信越化学。”“而这些公司……”温彼得意味深长地看了一眼林远，“都在东和财团的控制之下。”林远的瞳孔微微收缩。又是东和财团。又是那个女人。只要是在半导体这个圈子里，似乎永远绕不开她编织的那张大网。“谢谢提醒。”林远面色不变，“光刻胶的问题，我会解决。”第四现场：国产化的最后一公里。离开asl总部，林远在车上立刻召开了视频会议。参会者：刘华美（科创基金）、王海冰（cto）、以及那位刚刚被投资的国内光刻胶初创公司墨子材料的创始人，赵博士。“赵博士，”林远看着屏幕，“我刚从荷兰拿到光。现在，我需要光刻胶。”“日本人在卡我们的脖子。arf浸没式光刻胶，国内的进度到底怎么样？”赵博士推了推眼镜，面露难色：“林董，我们在树脂合成上已经突破了。但是，光刻胶是一个配方学。它包含树脂、光引发剂、溶剂、添加剂等几十种成分。配比差万分之一，良率就掉一半。”“而且，我们缺乏验证环境。光刻胶配方调出来，得上光刻机跑。但国内的晶圆厂产能宝贵，不敢让我们试错。”“验证环境，我给你。”林远斩钉截铁。“我让江钢集团，拿出一台二手的尼康光刻机，专门给你们做测试。”“同时，我给你找了个老师。”林远看向王海冰。“老王，联系我们在马来西亚和新加坡挖来的那些封测专家。他们很多人以前在日企工作过，懂日本人的材料体系。”“还有，”林远眼中闪过一丝狠厉，“启动备胎计划b方案。”“既然买不到日本的高端胶，那我们就自己造原材料。”“刘华美，你立刻去一趟云南和湖南。”“干什么？”刘华美不解。“囤货。”“光刻胶的核心原材料之一，是高纯度的镓和锗。而这两种金属，中国拥有全球80以上的储量。”“如果东和财团敢断我们的脚。”“那我们就断他们的粮！”“通知国内的矿业公司，以环保核查的名义，限制镓锗出口。同时，江南科创基金进场，按市场价全额收购所有的库存！”小主，这个章节后面还有哦，，后面更精彩！“我要让日本的化工厂，哪怕有配方，也做不出胶来！”这是资源反制。是中国作为全产业链国家，最原始、也最暴力的底牌。一周后。中国商务部发布公告：《关于对镓、锗相关物项实施出口管制的公告》。理由：维护国家安全和利益。全球半导体材料市场，瞬间炸锅。镓的价格一夜之间暴涨50。东京，东和财团总部。萧若冰看着手中的报告，绝美的脸上露出了一丝冷笑。“林远，你终于学会用强权了。”“想断我的粮？好啊。”“那就看看，是你的矿多，还是我的专利墙厚。”她拿起电话，拨通了一个号码。“通知信越化学和jsr。即日起，所有arf光刻胶，对中国大陆断供。”“理由？工厂检修，产能不足。”电话挂断。萧若冰走到窗前，看着东京塔的灯光。“林远，你不是想造7n吗？”“我倒要看看，没有光刻胶，你拿什么去曝光。”“拿你的爱国情怀吗？”江州。林远看着新闻，并没有愤怒。他手里握着一块刚刚从“墨子材料”实验室送来的，涂覆了国产光刻胶的晶圆样品。虽然良率还只有30，但这已经是0的突破。“战争开始了。”林远将晶圆递给王海冰。“告诉赵博士，我给他十个亿。”“三个月内，我要看到良率上90。”“做不到，提头来见。”“是！”：（）官道红颜：她们助我一路升迁