顶级的光学镜片,有那么好造吗?
还是说,是人类的加工技术太低了?
但物理性质总不可能改变吧?
当光波的波长达到极紫外光光段时,绝大多数材料都不具有良好的透射特性,duv类似的透射光学系统将不再适用这是物理定律啊。
总不可能连目前的物理定律都被打破了吧?
还是说,这名主播能利用眼前这些简陋的设备能做到顶级加工?
但用脑子想了想,蔡司公司的专家就否决掉了这种想法。
应用顶级的短波极紫外光的光刻机,也就是euv光刻机,它离轴反射系统有它非常独特的难点,这不是一般的投射镜片加工方式能做到的。
比如说其中的难点之一:‘离轴高精度非球面加工’。
如果按照轴对称非球面加工,这个系统的口径会超级大,最大可到540口径,加工难度可见一斑。
而这仅仅还是轴对称加工,轴对称加工完成后可以再磨外缘到离轴镜片状态,这样可保证加工和测试精度。
而应用于顶级euv上的离轴高精度非球面加工在此基础上又做了一次难度相当大的升级。
如按照单片离轴非球面镜片加工,镜片尺寸基本为实际尺寸,那么结果会比补全轴对称尺寸小了很多。
但离轴非球面镜片量测又是个大问题。
除此之外,离轴非球面系统装配也是个超级难点。
不比duv光刻机,duv的轴对称系统装配有比较好的量测设备支持,所以很多国家都能研发两位数纳米级的光刻机。
但当轴对称过渡到离轴非球面装配时,由于顶点位置已经失去,定心会非常困难。
像顶级的euv光刻机中的光源系统物理总长足足有一点三米,而定心不准导致的离轴偏心的影响将非常严重。
剩下其他大大小小的问题更是多不计数。
比如镜片的折射率、集光效应、穿透效率、吸收效应等等各种问题都是需要解决的。
不然全世界也不会只有一家蔡司了。
蔡司完全可以说,如果没有他们的光学镜头,那么阿斯麦的极紫外(euv)光刻机便无从谈起。
这是一家拥有近两百年历史公司的底蕴、自豪和傲视。
然而现在,眼前直播间里面的那个人,却打破了这一切。
利用几十年前的工业设备,就能制造出顶级的分布式布拉格反射器,甚至能应用到极紫外光上。
如果不是吹逼的,那他的科技,到底有多可怕?
但问题是,对方好像从来都没有吹逼过。
从他口中说出来的话,基本都已经实现了。
甚至在很对已经展示出来的科技上,完全可以说是极度谦虚了。
比如‘电热-离子注入法’,这种能在某种程度上完全代替离子注入的化学离子渗透法,现实检测远比这名主播说的要更加优秀。
风车国的某顶级离子注入机生产公司甚至还因为这种方法的出现而导致股价大跌。
九头牛都拉不回来的那种,现在是要轮到他们了吗?
尽管应用于顶级光刻机上的布拉格反射器只是蔡司的极小一部分产物。