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第401章 光刻之盟（第1页）

林远挂断了温彼得的电话。办公室里陷入了短暂的寂静，只剩下机房服务器风扇那永不停歇的低鸣声。他并没有急着欢呼，而是走到落地窗前，俯瞰着脚下这座正在飞速运转的城市，大脑冷静得像一台精密的离心机。asl为什么会在这个时候主动示好？绝不仅仅是因为昆吾软件的成功。在asl这种掌握着人类精密制造皇冠明珠的巨头眼里，软件再好也只是辅助工具。真正让他们感到脊背发凉的，是那场正在悄然逼近的路线之争。硅基芯片已经逼近了1纳米的物理极限。摩尔定律即将失效，euv光刻机的售价高昂得令人咋舌，且耗电量惊人，技术复杂度几乎触碰到了人类工程学的天花板。而林远和汪韬正在死磕的光子芯片，代表的是一种完全不同的物理法则——以光代电。一旦这条路线跑通，光刻机的重要性将大打折扣，asl赖以生存的护城河将在一夜之间干涸。温彼得不是来合作的，他是来对冲风险的。他想用现在的技术，买一张通往光子时代的船票。“想上船？”林远看着墙上的世界地图，目光穿过南海，落在了那个扼守马六甲海峡的小红点上，“可以。但这张票，必须用我想要的东西来换。”他拿起电话，拨通了刘华美和汪韬的号码，声音平静却有力。“准备一下，四十八小时后，新加坡，嘉佩乐酒店。我们要去见一位真正的巨人。”……新加坡，圣淘沙岛，嘉佩乐酒店。这座由英国殖民时代的古老建筑改建的酒店，掩映在郁郁葱葱的热带雨林中，空气中弥漫着湿润的海风味道。今天，它将见证半导体历史上最诡异，也最重要的一次握手。会议室里没有庞大的随行团队，只有核心的几个人。中方是林远、汪韬、王海冰和李振声；荷方则是温彼得，以及asl的技术灵魂人物——马丁·范登布林克。双方落座，气氛微妙而紧绷。“林先生，”温彼得率先开口，他的英语带着典型的荷兰口音，直率而务实，“由于众所周知的原因，我们无法向中国出售euv光刻机。这一点我很遗憾，但我无能为力，这是政治现实。”“但是，”他话锋一转，身体微微前倾，“对于基础科学研究，瓦森纳协定并没有完全禁止。我们对贵方在苏黎世和新加坡设立的光子芯片联合实验室非常感兴趣。我们希望作为技术合伙人加入。”“条件呢？”林远不动声色地问道。“我们愿意提供一亿美金的研发资金，以及asl在光学透镜、精密机械控制领域的部分非涉密专利授权。”温彼得开出了早已准备好的价码，“作为交换，我们需要共享实验室在硅光子架构和光互连方面的所有研究成果。”“一亿美金？”汪韬冷笑了一声，那笑声里带着三分轻蔑。他将一台笔记本电脑推到桌子中央，屏幕上是一张极为复杂、宛如迷宫般的光路图。“温彼得先生，您是行家。您应该看得出来，这是什么。”马丁·范登布林克，那位一直沉默寡言的技术总监，凑近屏幕看了几眼。下一秒，他的瞳孔瞬间收缩，呼吸都变得急促起来。“这是……片上光路波导的拓扑结构？你们解决了光子在微米尺度下的损耗问题？！”“解决了。”汪韬面无表情地合上电脑，“利用我们自研的拓扑光子晶体材料，损耗降低了90。这意味着，光子计算不再是理论，而是可以工程化的现实。”他看着马丁，一字一句地说道：“这个技术的价值，是一亿美金的后面，再加两个零。”马丁看向温彼得，微微点了点头。这个眼神确认了一个事实：中国人在光子芯片领域，真的走到了世界前列。“那你们想要什么？”温彼得深吸一口气，不再试探，“既然euv卖不了，我还能给你们什么？”林远身体前倾，双手交叉放在桌上，目光如炬。“我要的不是机器。”“我要的是——光的算法。”他抛出了一个让所有人都意想不到的概念：“计算光刻。”温彼得和马丁对视一眼，都看到了对方眼中的震惊。“温彼得先生，”林远打开了自己的ppt，“我们都知道，光刻机的物理精度是有极限的。但是，决定芯片最终良率的，不仅仅是镜头和光源，还有掩膜版的图形设计。”“光线在穿过掩膜版时，会发生衍射和干涉，导致投射到硅片上的图形发生畸变。本来是直角的电路，印出来变成了圆角；本来是分开的线条，印出来粘连在了一起。”林远顿了顿，继续说道，“为了修正这种畸变，我们需要光学邻近效应修正技术，也就是opc。”“通过极其复杂的数学算法，反向计算出掩膜版上应该有的形状。这需要海量的算力，和对光刻机光源特性的绝对了解。”，！林远看着马丁，语气变得极其郑重：“我们有昆吾平台，我们有燕山超算的e级算力，我们有盘古ai大模型。但是，我们没有asl光刻机的光源模型数据。”“你们的光源，波长漂移、光强分布、相干性等各项参数是保密的。没有这些数据，我们的opc算法就是瞎子。”“我的提议是：成立启明-asl联合计算光刻实验室。”“我们出算力、ai算法以及昆吾eda平台中的opc引擎；你们出光源模型数据、透镜像差数据以及光刻胶的光化学反应模型数据。”“目标是开发一套全新的，基于ai的逆向光刻技术系统。”林远的眼中闪烁着精光，那是猎人看到猎物即将落网时的兴奋：“这套系统不需要euv。它能让现有的duv光刻机，通过多重曝光和极致的软件修正，生产出7纳米，甚至5纳米的芯片！”“这就是——软件定义制造！”整个会议室陷入了死一般的寂静。马丁的手在微微颤抖。作为全球最顶尖的光刻机专家，他太清楚这个方案的可行性了。duv光刻机的物理波长是193n，通过浸没式技术可以等效为134n。理论上，通过多重曝光确实可以做到7n。但其代价是掩膜版的设计复杂度呈指数级上升，计算量大到惊人。传统的软件处理一张7n的全芯片版图，需要跑上几天几夜。但如果有中国那近乎无限的廉价算力和基于gpu加速的ai算法？也许，真的可以！“这不违反瓦森纳协定。”林远的律师高翔适时地补了一句，“我们交换的是数学模型和算法，不是实体设备。这是科学研究。”温彼得闭上眼睛，在脑海中飞快地权衡利弊。拒绝，意味着失去光子芯片的未来，而且中国人可能会自己摸索出这套算法，虽然慢一点，但迟早会做出来。同意，不仅能获得光子技术的门票，还能通过卖软件服务和老旧的duv设备，在中国市场再赚一笔巨款。“……成交。”温彼得睁开眼，做出了决定：“但是，我有两个条件。第一，这个实验室注册在新加坡，数据不出境。第二，asl拥有这套系统的海外独家销售权。”“没问题。”林远笑了。他要的本来就不是海外市场，他要的是能不能造出来。……协议签署后，代号为女娲的项目在新加坡地下的数据中心秘密启动。女娲炼石补天，他们要修补的，是光刻技术的物理缺陷。这不仅仅是写代码，这是在用数学挑战物理学的极限。汪韬带领的算法团队，和汉斯带领的工业软件团队，在这里进行了为期三个月的地狱式攻关。最先横亘在他们面前的，是计算量的爆炸。传统的opc是基于规则的，比如在直角处加个耳朵来修正。而他们要做的逆向光刻，是将掩膜版设计看作一个反向成像的数学优化问题。这好比知道了影子的形状，知道了光的传播规律，要反推出挡光板长什么样。这是一个庞大的非凸优化问题，计算量是传统的百倍。汪韬没有选择硬算。他训练了一个巨大的光刻成像神经网络，将asl提供的数亿张掩膜版最终成像的对应图片喂给了ai。于是，神奇的一幕发生了。ai学会了光的脾气。它不再笨拙地去解复杂的麦克斯韦方程组，而是像一个经验丰富的老工匠，只需要看一眼电路图，就能凭借直觉，直接生成最优的掩膜版图形。计算速度，瞬间提升了五百倍。紧接着是多重曝光带来的对准误差难题。要在duv上做7n，需要将一层电路拆分成四张掩膜版，曝光四次。这四次曝光，每一次的对准误差都必须控制在2纳米以内。稍有偏差，芯片就报废。这时候，汉斯的德国团队拿出了看家本领——虚拟量测技术。他们利用昆吾平台收集的机台传感器数据，实时预测每一次曝光时的晶圆热膨胀和机械微震动。然后在下一次曝光时，通过调整光刻机的透镜参数，进行前馈补偿。这就像是在射击移动靶，还没开枪，就已经预判了靶子的移动轨迹，并提前修正了枪口。三个月后，江州，江南之芯集团晶圆厂。一台老旧的aslnxt:1980di光刻机正安静地躺在恒温恒湿的净化车间里。今天，它的灵魂被替换了。它被刷入了女娲系统生成的全新控制参数，光路系统中装载了一套形状怪异、如同外星文字般的复杂掩膜版。“开始曝光。”光源亮起，紫色的激光束穿透透镜，轰击在硅片上。四次曝光，精准套刻。显影，刻蚀，清洗……当电子显微镜的图像投射到大屏幕上时，全场沸腾了。屏幕上，是一排排整齐、清晰、边缘锐利的晶体管栅极。王海冰颤抖着手，操作测量工具，拉出了两条线。小主，这个章节后面还有哦，，后面更精彩！线宽：72纳米。成功了！利用一台原本只能做28n的设备，通过极致的软件算法修正和多重曝光技术，他们硬生生地造出了7n制程的晶体管！这不仅是技术的胜利，更是对封锁最响亮的耳光。你封锁了euv？没关系。我用duv，加上我的算法，照样能造出高端芯片！女娲系统的成功虽然是在绝密状态下进行的，但成果很快显现。代号启明-ii的7n手机芯片流片成功，性能与台积电euv工艺的产品差距不到10，而良率被ai算法拉高后，成本极具竞争力。消息传出，全球半导体行业震动。asl股价大涨，市场认为其duv光刻机将迎来第二春。而美国商务部则陷入了深深的自我怀疑——禁了euv，却没能禁住7n，难道要连duv也禁了？林远并没有停下脚步。他知道，7n只是权宜之计，真正的决战还是在光子芯片。通过这次合作，asl的技术团队已经深度介入了光子芯片的研发，有了他们在精密机械上的积累，那个未来的梦想正在加速变成现实。然而，就在林远以为一切都在掌控之中时，江钢的工业大脑却突然发出了一次红色的最高级安全警报。“警报！检测到核心生产数据异常外泄！”深夜，林远冲进指挥中心。屏幕上，那个汪韬亲手部署的声呐系统正在疯狂闪烁。“怎么回事？”林远厉声问道，“不是已经做了物理隔离吗？”“是物理隔离了。”负责安全的周教授满头大汗，指着屏幕上的波形图，“但是，数据是通过侧信道泄露的！”“有人利用了我们采购的那批工业传感器！那些是西门子的原装货，但在它们的微控制器里，被植入了一个极其隐蔽的硬件木马。”“这个木马不会联网，它利用的是电流！”周教授的声音有些发颤，“它通过调节传感器电源线的电流波动，将数据调制成摩斯密码般的微弱电波，通过电线发射出去！”“而接收方……”周教授指着信号追踪图，“就在江钢厂区外，三公里处的一个废弃变电站里！”西门子？汉斯？林远的心猛地一沉。难道这位他最信任的德国盟友也背叛了他？不，不对。汉斯如果是间谍，他没必要带给他那么核心的底层协议。那么，是谁能在西门子的原装供应链里动手脚，还能在江钢附近建立接收站？这种能力，只有cia。他们没有放弃。在网络攻击失败后，他们启动了更传统，也更致命的物理渗透。他们将间谍工具直接焊死在了工业设备的神经末梢里。林远看着屏幕，眼中闪过一丝狠厉。“抓人。”他拿起了电话，拨通了张将军的号码，声音冰冷如铁。“首长，鱼进网了。”“收网吧。”：（）官道红颜：她们助我一路升迁